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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种具有双工位旋转载片的光刻机	实用新型	CN202121016583.9	CN215297945U	2021-12-24
2	一种半导体生产制造用光刻机	实用新型	CN202121008010.1	CN215297944U	2021-12-24
3	一种卷对面自动式纳米压印设备	实用新型	CN202121016569.9	CN215297937U	2021-12-24
4	一种纳米压印光刻机	实用新型	CN202121016567.X	CN215297936U	2021-12-24
5	一种半自动式纳米压印设备	实用新型	CN202121008009.9	CN215181395U	2021-12-14
6	一种校正压印光刻机	实用新型	CN202120487858.0	CN215181394U	2021-12-14
7	一种纳米压印机基片定位装置	实用新型	CN202121016555.7	CN214896195U	2021-11-26
8	一种步进式模板拼版压印用光刻机	实用新型	CN202121007695.8	CN214896194U	2021-11-26
9	一种改善光照均匀性的光刻机	实用新型	CN202121007699.6	CN214846231U	2021-11-23
10	桌面压印机	外观专利	CN202130323541.9	CN306886082S	2021-10-19

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