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专利信息7

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种喷雾式晶圆附磷工艺	发明专利	CN201610754888.7	CN107146757A	2017-09-08
2	扩散舟	实用新型	CN201620958809.X	CN206003753U	2017-03-08
3	用于晶圆制造圆片清洗的花篮	实用新型	CN201620970377.4	CN205959965U	2017-02-15
4	芯片磨脚器	实用新型	CN201620963024.1	CN205950445U	2017-02-15
5	用于电泳制程的提篮	实用新型	CN201620969307.7	CN205920954U	2017-02-01
6	硅舟	实用新型	CN201620958227.1	CN205917346U	2017-02-01
7	一种应用于半导体的磁力喷墨测试工艺	发明专利	CN201610741992.2	CN106328555A	2017-01-11

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