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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种旋转镜像靶磁控溅射设备	发明专利	CN202110606855.9	CN113403595A	2021-09-17
2	一种太阳能电池电极制造方法	发明专利	CN202110549543.9	CN113394303A	2021-09-14
3	一种双向镀膜磁控溅射方法	发明专利	CN202011515373.4	CN112593196A	2021-04-02
4	一种真空镀膜设备多路入气多级整流气路系统	实用新型	CN202021761956.0	CN212560432U	2021-02-19
5	一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速用真空气囊	实用新型	CN202021762791.9	CN212560428U	2021-02-19
6	基材可分离的真空镀膜设备	实用新型	CN202021762820.1	CN212560416U	2021-02-19
7	一种真空镀膜设备多路入气多级整流工艺及气路系统	发明专利	CN202010848497.8	CN112030141A	2020-12-04
8	一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速方法及真空气囊	发明专利	CN202010849040.9	CN112030131A	2020-12-04
9	一种基材可分离的真空镀膜设备	发明专利	CN202010848499.7	CN112030110A	2020-12-04

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