商标信息0
专利信息16
序号 | 专利名称 | 专利类型 | 申请号 | 公开(公告)号 | 公布日期 |
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1 | 用于晶圆清洗烘干的充气式主轴密封装置 | 实用新型 | CN202020527700.7 | CN212899733U | 2021-04-06 |
2 | 一种晶圆涂胶清洗设备除水雾装置 | 实用新型 | CN202020532537.3 | CN212380390U | 2021-01-19 |
3 | 防溢蒸晶圆蒸发台 | 实用新型 | CN202020409421.0 | CN212375370U | 2021-01-19 |
4 | 晶圆清洗机防脱落装置 | 实用新型 | CN202020409426.3 | CN212370666U | 2021-01-19 |
5 | 快速均匀的晶圆烘干装置 | 实用新型 | 2020204094193 | CN212370521U | 2021-01-19 |
6 | 一种基于温度控制技术的晶圆涂胶机 | 实用新型 | CN202020310417.9 | CN212370502U | 2021-01-19 |
7 | 一种晶圆表面颗粒清洗单旋式喷嘴 | 实用新型 | CN202020301113.6 | CN212365926U | 2021-01-15 |
8 | 可精细控制温度的晶圆蒸发台 | 实用新型 | CN202020409416.X | CN211858602U | 2020-11-03 |
9 | 一种低压高效晶圆清洗喷嘴装置 | 实用新型 | CN202020301135.2 | CN211858599U | 2020-11-03 |
10 | 一种涂胶显影机晶圆高精度定位装置 | 实用新型 | CN202020527783.X | CN211857175U | 2020-11-03 |
软件著作权4
序号 | 软件名称 | 软件简称 | 版本号 | 登记号 | 分类号 | 首次发表日期 | 登记批准日期 |
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1 | 全自动清洗机片盒传输系统控制软件 | - | V1.0 | 2020SR0356077 | - | - | 2020-04-21 |
2 | 全自动清洗机远程诊断软件系统 | - | V1.0 | 2020SR0356071 | - | - | 2020-04-21 |
3 | 晶装清洗系统控制软件 | - | V1.0 | 2017SR715984 | 30000-6200 | 2017-10-19 | 2017-12-21 |
4 | 腔体恒温加热控制系统软件 | - | V1.0 | 2016SR372048 | 30000-6200 | 2015-12-18 | 2016-12-14 |
作品著作权0
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