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专利信息9

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种三状态分子束外延用束源炉快门	发明专利	CN202011453051.1	CN112746318B	2022-02-18
2	一种用于超高真空系统的低温旋转样品架	实用新型	CN202120509435.4	CN214681828U	2021-11-12
3	一种双快门分子束外延源炉系统及分子束外延设备	发明专利	CN202110683800.8	CN113463189A	2021-10-01
4	一种坩埚可移动的分子束外延用束源炉	发明专利	CN202011315020.X	CN112410871B	2021-09-03
5	一种分子束外延源料冷却方法	发明专利	CN202011311954.6	CN112538654B	2021-08-27
6	一种分子束外延源料冷却方法	发明专利	CN202011311954.6	CN112538654A	2021-08-27
7	一种三状态分子束外延用束源炉快门	发明专利	CN202011453051.1	CN112746318A	2021-05-04
8	一种坩埚可移动的分子束外延用束源炉	发明专利	CN202011315020.X	CN112410871A	2021-02-26
9	一种分子束外延源料原位预处理方法	发明专利	CN202011311933.4	CN112410732A	2021-02-26

软件著作权3

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	高能电子衍射仪图像采集及处理系统	-	V1.0	2021SR0456106	-	2021-03-15	2021-03-26
2	分子束外延基片传输控制系统	-	V1.0	2021SR0456088	-	2021-03-15	2021-03-26
3	分子束外延监控系统	-	V1.0	2021SR0456050	-	2021-03-15	2021-03-26

作品著作权0

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