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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种用于单晶硅热场的加热器	实用新型	CN201120315050.0	CN202226960U	2012-05-23
2	一种晶棒加工装卸专用机械手	实用新型	CN201120315047.9	CN202225311U	2012-05-23
3	一种硅单晶圆型锥籽晶专用夹持内套	实用新型	CN201120315097.7	CN202214451U	2012-05-09
4	一种用于防止硅液飞溅的保护装置	实用新型	CN201120315048.3	CN202214446U	2012-05-09
5	一种多通道均匀上排气热场机构	实用新型	CN201120315046.4	CN202214445U	2012-05-09
6	一种用于单晶硅棒滚磨及掏孔的专用夹具	实用新型	CN201120315114.7	CN202213066U	2012-05-09
7	一种硅晶棒掏孔专用刀具	实用新型	CN201120315110.9	CN202213063U	2012-05-09
8	一种高精度圆锥籽晶石墨夹持内套专用线切机	实用新型	CN201120315115.1	CN202213059U	2012-05-09

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