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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种清洗制绒用存放硅片的花篮	实用新型	CN202023339403.9	CN214152861U	2021-09-07
2	一种利用选择性接触导电的电池制备方法	发明专利	CN202010522946.X	CN111640826A	2020-09-08
3	一种用铜丝做主栅的晶硅电池及其组件的制备方法	发明专利	CN202010522563.2	CN111640822A	2020-09-08
4	一种太阳能电池导电电极线的分布和制造方法	发明专利	CN202010353632.1	CN111640818A	2020-09-08
5	一种无背面银电极HIT电池及其制造方法	发明专利	CN202010311527.1	CN111640802A	2020-09-08
6	一种安全可控的太阳能硅片RIE制绒工艺	发明专利	CN201811230915.6	CN109449250A	2019-03-08
7	一种真空腔室腔内升降机构	实用新型	CN201820668761.8	CN208250461U	2018-12-18
8	一种干法制绒黑硅后清洗工艺	发明专利	CN201810420509.X	CN108682615A	2018-10-19
9	一种低能耗链式传输真空刻蚀和镀膜设备	实用新型	CN201820141072.1	CN207896066U	2018-09-21
10	一种高产能链式传输真空刻蚀和镀膜设备	实用新型	CN201820100608.5	CN207765415U	2018-08-24

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