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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种半片硅棒用批量快速粘棒装置	实用新型	CN202020556122.X	CN212736586U	2021-03-19
2	一种半片硅棒用粘棒工装	实用新型	CN202020557305.3	CN212636189U	2021-03-02
3	一种粘晶棒用加压装置	实用新型	CN202020681435.8	CN212421835U	2021-01-29
4	一种功率器件用半导体硅切片金刚线切割工艺	发明专利	CN202010753105.X	CN112157831A	2021-01-01
5	一种硅棒外形检测机构	实用新型	CN202021233619.4	CN212227982U	2020-12-25
6	一种电镀金刚线细线化后的切割工艺	发明专利	CN202010754294.2	CN112078041A	2020-12-15
7	一种单晶硅棒切割自动调整工艺参数的方法	发明专利	CN202010754280.0	CN112078040A	2020-12-15
8	一种晶硅多线切割降低金刚线损耗的切割方法	发明专利	CN202010753121.9	CN112078039A	2020-12-15
9	一种140μm厚度以下硅片的切割方法	发明专利	CN202010753113.4	CN112078038A	2020-12-15
10	一种IC用大直径硅切片金刚线切割工艺	发明专利	CN202010753102.6	CN112060378A	2020-12-11

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