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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	ITO平面靶材清洗固定装置	实用新型	CN202021675947.X	CN213613021U	2021-07-06
2	一种脱脂-烧结一体式生产ITO靶材的方法	发明专利	CN201810653327.7	CN108863343B	2021-06-08
3	一种脱脂-烧结一体式生产ITO靶材的方法	发明专利	CN201810653327.7	CN108863343A	2021-06-08
4	一种用于ITO粉料球磨的球磨罐	实用新型	CN201920951196.0	CN210815496U	2020-06-23
5	一种用于ITO靶材冷压固定装置	实用新型	CN201822035850.1	CN210758405U	2020-06-16
6	一种用于ITO靶材清洗烘干装置	实用新型	CN201920951199.4	CN210754111U	2020-06-16
7	一种用于ITO平面靶材清洗防碰撞装置	实用新型	CN201920951198.X	CN210754110U	2020-06-16
8	一种用于ITO靶坯切割装置	实用新型	CN201822035849.9	CN210061603U	2020-02-14
9	一种ITO靶材注浆除泡设备的中央真空系统装置	实用新型	CN201822207393.X	CN209937242U	2020-01-14
10	一种高效提升ITO靶材密度的注浆模具	实用新型	CN201820977704.8	CN208826822U	2019-05-07

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