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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种晶圆处理装置用箱体及晶圆处理装置	实用新型	CN202122123919.8	CN215731613U	2022-02-01
2	一种废弃光刻胶排放装置及涂胶显影机	实用新型	CN202122151968.2	CN215729282U	2022-02-01
3	一种光刻胶收集杯清洗装置	实用新型	CN202122199116.0	CN215696561U	2022-02-01
4	防滑出机构及机柜	实用新型	CN202120333588.8	CN215695439U	2022-02-01
5	过滤器余液收集装置	实用新型	CN202120333607.7	CN215692293U	2022-02-01
6	一种气液分离装置及涂胶显影机	实用新型	CN202122128113.8	CN215691851U	2022-02-01
7	一种流量检测装置	实用新型	CN201921084120.9	CN210154628U	2020-03-17
8	一种晶圆机台温控系统	实用新型	CN201721442620.6	CN207338326U	2018-05-08
9	一种显影液供应系统	实用新型	CN201721404018.3	CN207318937U	2018-05-04

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