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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	匹配箱的输入端的阻抗调节方法、装置及射频电源系统	发明专利	CN202010291595.6	CN111417248B	2021-12-31
2	一种射频匹配网络及射频电源系统	实用新型	CN201921485810.5	CN211206608U	2020-08-07
3	匹配箱的输入端的阻抗调节方法、装置及射频电源系统	发明专利	CN202010291595.6	CN111417248A	2020-07-14
4	匹配箱的阻抗调节方法、系统、装置及射频电源系统	发明专利	CN202010290812.X	CN111328175A	2020-06-23
5	一种射频电源	实用新型	CN201921495212.6	CN210380678U	2020-04-21
6	一种匹配箱的阻抗调节方法、装置及射频电源系统	发明专利	CN201910844116.6	CN110536534A	2019-12-03
7	一种基于射频电源的阻抗调节方法及射频电源系统	发明专利	CN201910843137.6	CN110473764A	2019-11-19
8	一种射频电源	发明专利	CN201910844168.3	CN110460246A	2019-11-15
9	一种射频匹配网络及射频电源系统	发明专利	CN201910843120.0	CN110456136A	2019-11-15

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