商标信息3
专利信息7
序号 | 专利名称 | 专利类型 | 申请号 | 公开(公告)号 | 公布日期 |
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1 | 一种晶圆平边寻边装置和光刻机 | 实用新型 | CN202022036164.3 | CN213122599U | 2021-05-04 |
2 | 一种晶片吸附结构及传片装置 | 实用新型 | CN202021422537.4 | CN212750844U | 2021-03-19 |
3 | 一种传片装置及光刻机 | 实用新型 | CN202021336471.7 | CN212647260U | 2021-03-02 |
4 | 基片寻边装置和光刻系统 | 实用新型 | CN202020862719.7 | CN212256006U | 2020-12-29 |
5 | 4吋规格notch基片的寻边装置和光刻系统 | 实用新型 | CN202020861795.6 | CN212256005U | 2020-12-29 |
6 | 一种直写式曝光机用台面清洁结构 | 实用新型 | CN201922182846.2 | CN211454230U | 2020-09-08 |
7 | 一种便于调节高度的双工位直投式光刻机 | 实用新型 | CN201922012313.X | CN211427044U | 2020-09-04 |
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