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专利信息25

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种半导体设备测漏模具	实用新型	CN202121853778.9	CN215943458U	2022-03-04
2	一种用于半导体光刻胶的清洗方法	发明专利	CN202111391021.7	CN113970880A	2022-01-25
3	一种专用于碗形半导体配件的等离子喷涂辅助装置	实用新型	CN202121778689.2	CN215404451U	2022-01-04
4	一种用于半导体生产的晶舟的强氧化剂清洗液及清洗方法	发明专利	CN202110911702.5	CN113637536A	2021-11-12
5	一种提高熔射设备确认坐标系中心点的装置	实用新型	CN202022312137.4	CN214132277U	2021-09-07
6	用于半导体零部件的喷砂设备	实用新型	CN202022249579.9	CN213796009U	2021-07-27
7	一种半导体用石英的氧化钇涂层的制备方法	发明专利	CN202110369899.4	CN113122795A	2021-07-16
8	一种用于半导体设备零部件清洗加温设计装置	实用新型	CN202022342559.6	CN213519875U	2021-06-22
9	一种可调节清洗槽	实用新型	CN202022338871.8	CN213495278U	2021-06-22
10	一种清洗液再生循环装置	实用新型	CN202022345504.0	CN213492430U	2021-06-22

软件著作权1

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	KVTS生产管理系统	-	V1.0	2021SR0172224	-	2020-12-10	2021-02-01

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