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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种碳化硅晶体缺陷的检测装置	实用新型	CN202023167935.9	CN213986159U	2021-08-17
2	高质量碳化硅籽晶、碳化硅晶体、碳化硅衬底及其制备方法	发明专利	CN202110484326.6	CN113186601A	2021-07-30
3	一种无滑动取晶片装置	实用新型	CN202022947085.8	CN213703008U	2021-07-16
4	一种碳化硅晶体平面打磨标记卡片	实用新型	CN202022954127.0	CN213702777U	2021-07-16
5	一种高质量SiC单晶片及其制备方法	发明专利	CN201911380293.X	CN113046825A	2021-06-29
6	一种电阻率均匀的半绝缘型碳化硅晶片及其制备方法	发明专利	CN201911356607.2	CN113026093A	2021-06-25
7	一种卡塞包装一体化装置	实用新型	CN202022965160.3	CN213459666U	2021-06-15
8	一种高质量低缺陷碳化硅单晶、其制备方法及应用	发明专利	CN202011535254.5	CN112779603A	2021-05-11
9	一种导电型碳化硅单晶及其制备方法	发明专利	CN202011536526.3	CN112725893A	2021-04-30
10	打磨设备、打磨盘的加工方法以及碳化硅晶片的加工方法	发明专利	CN202011554118.0	CN112692722A	2021-04-23

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