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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	处理多晶硅还原尾气的系统和方法	发明专利	CN201810005888.6	CN109985489A	2019-07-09
2	处理多晶硅还原尾气的系统	实用新型	CN201820008881.5	CN208130781U	2018-11-23
3	提纯三氯氢硅的方法	发明专利	CN201510247059.5	CN104828827B	2017-03-08
4	处理氯硅烷废液的方法和系统	发明专利	CN201410369315.3	CN104163534B	2017-01-11
5	处理粗三氯氢硅的方法和系统	发明专利	CN201410464371.5	CN104261412B	2016-05-18
6	处理多晶硅尾气的方法和系统	发明专利	CN201410260376.6	CN104016352B	2016-05-18
7	制备多晶硅的方法和系统以及提纯三氯氢硅的方法和系统	发明专利	CN201410260437.9	CN104003396B	2016-05-18
8	从氯硅烷中提纯三氯氢硅的方法和系统	发明专利	CN201410260380.2	CN103991874B	2016-05-18
9	用于分离回收多晶硅尾气的活性炭吸附再生系统	实用新型	CN201520174956.3	CN204602200U	2015-09-02
10	提纯三氯氢硅的方法	发明专利	CN201510247059.5	CN104828827A	2015-08-12

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