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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种真空磁控溅射用新型平面阴极	实用新型	CN201320857516.9	CN203768448U	2014-08-13
2	一种新型的玻璃清洗机机盘刷调节装置	发明专利	CN201110055726.1	CN102172594B	2014-02-26
3	一种镀膜用阴极磁棒装置	实用新型	CN201220745127.2	CN203021644U	2013-06-26
4	一种磁控溅射镀膜装置	实用新型	CN201220744804.9	CN203021643U	2013-06-26
5	一种真空磁控溅射镀膜用旋转阴极驱动系统	发明专利	CN201010208947.3	CN102296273B	2013-06-05
6	一种真空磁控溅射镀膜用旋转阴极驱动系统	发明专利	CN201010208947.3	CN102296273A	2011-12-28
7	一种新型的多段工艺供气集成装置	实用新型	CN201120059925.5	CN202047130U	2011-11-23
8	一种冷却挡板装置	实用新型	CN201120023560.0	CN201999987U	2011-10-05
9	一种新型的玻璃清洗机机盘刷调节装置	发明专利	CN201110055726.1	CN102172594A	2011-09-07

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