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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种芯片生产制造用冷却装置	实用新型	CN202023290751.1	CN213936131U	2021-08-10
2	一种芯片制造用晶圆裂片机	实用新型	CN202023281020.0	CN213936130U	2021-08-10
3	一种去应力腐蚀机的芯片旋转装置及其设备	发明专利	CN202110231609.X	CN113035751A	2021-06-25
4	一种外延设备的气体供应方法及装置	发明专利	CN202110231567.X	CN113026098A	2021-06-25
5	一种半导体制造方法	发明专利	CN202110182585.3	CN112993760A	2021-06-18
6	一种单片集成波导装置及其集成半导体芯片	发明专利	CN202110176830.X	CN112993753A	2021-06-18
7	一种半导体有源与无源集成耦合方法	发明专利	CN202110169785.5	CN112952550A	2021-06-11
8	一种采用可吸收光栅的抗反射激光器	实用新型	CN202022244025.X	CN212485796U	2021-02-05
9	一种采用可吸收光栅的抗反射激光器	发明专利	CN202011079931.7	CN112072463A	2020-12-11

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