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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种电子束蒸镀设备用可同时自转和公转的样片盘载具	实用新型	CN202022703197.9	CN213895980U	2021-08-06
2	一种磁控溅射设备用样品固定辅助工装	实用新型	CN202022714343.8	CN213680870U	2021-07-13
3	一种单片晶圆显影花篮	实用新型	CN202022714905.9	CN213340308U	2021-06-01
4	分布反馈式激光器的不规则反射镜结构	发明专利	CN202011457059.5	CN112688163A	2021-04-20
5	基于W3光子晶体缺陷波导的分布式反馈激光器及制备方法	发明专利	CN202010671274.9	CN111916998A	2020-11-10
6	一种可移动的光刻板固定夹具	实用新型	CN201920519600.7	CN211403119U	2020-09-01
7	分布反馈式激光器的新型电流阻挡层结构	发明专利	CN202010177604.9	CN111370997A	2020-07-03
8	基于平面螺型结的耐高压元件	实用新型	CN201921625029.3	CN210467849U	2020-05-05
9	一种化学气相沉积和扫描电镜联用设备	实用新型	CN201920976449.X	CN210198999U	2020-03-27
10	一种适用于小尺寸基片的光刻用真空基片夹具	实用新型	CN201920524111.0	CN209980011U	2020-01-21

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