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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种菱形组合硅芯及其配套卡件	实用新型	CN202021941352.4	CN213652726U	2021-07-09
2	一种用于氯硅烷生产过程中产生的氯化物回收的装置	实用新型	CN202022030710.2	CN213326756U	2021-06-01
3	用于多晶硅生产中还原炉的抽吸式喷嘴	实用新型	CN202021948624.3	CN213326755U	2021-06-01
4	一种菱形硅芯的卡件	实用新型	CN202021941348.8	CN213326754U	2021-06-01
5	一种多晶硅生产工艺中氢气纯化用吸附塔	实用新型	CN202021561147.5	CN213314182U	2021-06-01
6	一种多晶硅生产工艺中氢气纯化装置	实用新型	CN202021559331.6	CN213314181U	2021-06-01
7	一种多晶硅还原炉电极结构	实用新型	CN202021562548.2	CN213141423U	2021-05-07
8	一种还原炉的多管式进料系统	实用新型	CN202021559530.7	CN213141422U	2021-05-07
9	一种去除小颗粒多晶硅料中表面杂质用清洗装置	实用新型	CN202021561148.X	CN213134261U	2021-05-07
10	一种新型石墨组件	实用新型	CN202021560307.4	CN212895085U	2021-04-06

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