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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	热电堆红外探测器芯片	实用新型	CN202123011494.8	CN216698422U	2022-06-07
2	深硅刻蚀双层复合掩膜层	实用新型	CN202123047164.4	CN216698283U	2022-06-07
3	低应力介质复合膜	实用新型	CN202123025556.0	CN216698280U	2022-06-07
4	一种高精度RF MEMS数字可变电容	实用新型	CN201922266264.2	CN211208253U	2020-08-07
5	高可靠性RFMEMS数字可变电容单元	实用新型	CN201922262488.6	CN211208252U	2020-08-07
6	一种RF MEMS数字可变电容单元	发明专利	CN201911298696.X	CN110853924A	2020-02-28
7	一种RF MEMS数字可变电容阵列构造	发明专利	CN201911298691.7	CN110853923A	2020-02-28
8	一种移相器	实用新型	CN201920904244.0	CN209691908U	2019-11-26
9	一种翘板结构的RF MEMS接触式开关	实用新型	CN201920516004.3	CN209461308U	2019-10-01
10	一种高性能RF MEMS电容式开关	实用新型	CN201920515959.7	CN209461307U	2019-10-01

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2	苏州希美微纳系统有限公司	www.simems.net	苏ICP备14057867号	企业	2014-12-11

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