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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种多元合金膜层的沉积装置及运用该装置的沉积工艺	发明专利	CN202110435418.5	CN113186500A	2021-07-30
2	一种5G用聚合物的表面处理方法	发明专利	CN202010350044.2	CN111662467B	2021-06-29
3	一种5G用聚合物的表面处理方法	发明专利	CN202010350044.2	CN111662467A	2021-06-29
4	一种金属离子源发射装置	发明专利	CN202010363614.1	CN111668080B	2021-06-08
5	一种金属离子源发射装置	发明专利	CN202010363614.1	CN111668080A	2021-06-08
6	一种超薄聚合物的表面处理方法	发明专利	CN202011090039.9	CN112210760B	2021-05-07
7	一种具有双层屏蔽罩的阴极弧头	发明专利	CN202011363720.6	CN112501572A	2021-03-16
8	一种离子源阴极结构及运用该阴极结构的离子束产生方法	发明专利	CN202011358109.4	CN112490099A	2021-03-12
9	一种离子束沉积设备的冷却辊	发明专利	CN202011358107.5	CN112481583A	2021-03-12
10	一种LCP基材的离子束金属化方法及其制品	发明专利	2020111030133	CN112281118A	2021-01-29

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