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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	晶圆清洁箱内微环境控制装置及控制方法	发明专利	CN201410110078.9	CN104952759B	2019-03-12
2	基于前值的关键尺寸测量方法和设备	发明专利	CN201510323992.6	CN106289095B	2019-02-19
3	硅片吸盘	发明专利	CN201510323807.3	CN106252791B	2019-02-19
4	研磨丝调整机构以及研磨丝调整方法	发明专利	CN201510415699.2	CN106346335B	2019-01-22
5	三维空间光源系统及相关的光测量设备	实用新型	CN201721201675.8	CN207850536U	2018-09-11
6	物体表面高度快速定位的方法与装置	发明专利	CN201410190950.5	CN105091759B	2018-08-24
7	确定测量模式和光学系统参数容差的方法和装置	发明专利	CN201410542475.3	CN105571484B	2018-07-06
8	一种用于优化光学系统参数的方法和装置	发明专利	CN201410542473.4	CN105571483B	2018-06-26
9	用于光学关键尺寸测量的方法及装置	发明专利	CN201410234193.7	CN105444666B	2018-05-25
10	物体旋转中心的定标方法与装置	发明专利	CN201410394877.3	CN105444643B	2018-05-04

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