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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种光刻机生产用硅半导体的硅晶片腐化池	实用新型	CN202021502878.2	CN213366533U	2021-06-04
2	一种光刻机的光刻板取料装置	发明专利	CN202011384582.X	CN112722817A	2021-04-30
3	一种用于光刻机的晶圆载台	发明专利	CN202011388274.4	CN112614805A	2021-04-06
4	一种光刻机的晶片传送装置	发明专利	CN202011384580.0	CN112614798A	2021-04-06
5	一种光刻机自动对准系统	发明专利	CN202011388271.0	CN112558436A	2021-03-26
6	一种半导体芯片生产用接触式光刻机	发明专利	CN202011388275.9	CN112558424A	2021-03-26
7	一种便于调节的双工位直投式光刻机	发明专利	CN202011386436.0	CN112558423A	2021-03-26
8	一种半自动清洗台	实用新型	2020203700317	CN212418885U	2021-01-29
9	一种激光光能回收型光刻机	实用新型	CN202021462204.4	CN212276215U	2021-01-01
10	一种IPA干燥设备	实用新型	CN202020370009.2	CN212093429U	2020-12-08

软件著作权15

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	光刻机温度PID反馈及智能控制系统	-	V1.0	2020SR1850551	-	2018-12-26	2020-12-18
2	基于VME总线运动控制卡驱动程序软件	-	V1.0	2020SR1838934	-	2019-10-16	2020-12-17
3	全自动涂胶系统显影控制软件	-	V1.0	2020SR1826495	-	2020-05-06	2020-12-16
4	涂胶显影机与光刻机互联控制软件	-	V1.0	2020SR1826090	-	2019-11-01	2020-12-16
5	全自动涂胶显影机系统药液流量控制软件	-	V1.0	2020SR1826089	-	2020-10-06	2020-12-16
6	光刻机翻修工艺调试系统软件	-	V1.0	2018SR615508	-	-	2018-08-03
7	光刻机系统故障检测修复软件	-	V1.0	2018SR615119	-	-	2018-08-03
8	正胶涂布机维修保养管理系统	-	V1.0	2018SR615112	-	-	2018-08-03
9	正胶涂布机系统故障检测修复软件	-	V1.0	2018SR615104	-	-	2018-08-03
10	正胶涂布机系统远程自动升级软件	-	V1.0	2018SR615098	-	-	2018-08-03

作品著作权0

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序号	网站名	网址	备案号	主办单位性质	审核日期
1	北京新毅东科技有限公司	www.bjneweastech.com	京ICP备16003834号	企业	2016-01-21
2	-	www.bjneweastech.com	京ICP备16003834号	企业	2016-01-21

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