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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种激光飞行时间光雷达	实用新型	CN201890000986.4	CN211786109U	2020-10-27
2	一种提升垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺均匀性的方法及装置	发明专利	CN202010002979.1	CN111162452A	2020-05-15
3	一种垂直腔面发射激光器	发明专利	CN201811477564.9	CN109524878B	2019-08-09
4	一种垂直腔面发射激光器的湿法氧化工艺及装置	发明专利	CN201810959116.6	CN109193340B	2019-06-28
5	一种晶圆结构及其测试方法	发明专利	CN201811008476.4	CN109285827B	2019-05-31
6	一种垂直腔面发射激光器	发明专利	CN201811477564.9	CN109524878A	2019-03-26
7	一种晶圆结构及其测试方法	发明专利	CN201811008476.4	CN109285827A	2019-01-29
8	一种激光飞行时间光雷达	发明专利	CN201810959118.5	CN109270547A	2019-01-25
9	一种砷化镓的干法蚀刻工艺及其应用	发明专利	CN201810959093.9	CN109216183A	2019-01-15
10	一种垂直腔面发射激光器的湿法氧化工艺及装置	发明专利	CN201810959116.6	CN109193340A	2019-01-11

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