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专利信息51

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种废气洗涤处理系统及控制方法	发明专利	CN202111215317.3	CN114100352A	2022-03-01
2	一种半导体废气处理用进气系统及控制方法	发明专利	CN202111172337.7	CN114100303A	2022-03-01
3	一种测试装置	实用新型	CN202122078523.6	CN215769472U	2022-02-08
4	一种气路管道的连接结构	实用新型	CN201920705632.6	CN210716420U	2020-06-09
5	一种适用于半导体制程废气处理设备	实用新型	CN201920705640.0	CN210473565U	2020-05-08
6	一种应用于半导体废气处理设备的循环水箱	实用新型	CN201920697383.0	CN210473564U	2020-05-08
7	一种应用于半导体废气处理设备的结构	实用新型	CN201920702326.7	CN210473530U	2020-05-08
8	一种应用于半导体废气处理设备的水洗塔	实用新型	CN201920702329.0	CN210473502U	2020-05-08
9	一种应用于半导体废气处理设备的废气反应腔体	实用新型	CN201920705575.1	CN210110718U	2020-02-21
10	半导体废气处理设备	外观专利	CN201930236819.1	CN305575641S	2020-01-24

共 6 页

软件著作权5

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	Kylin BW废气处理设备控制系统软件	-	V1.0	2020SR0673520	-	-	2020-06-24
2	Kylin DB废气处理设备控制系统软件	-	V1.0	2020SR0673512	-	-	2020-06-24
3	Kylin TW1000半导体废气处理系统控制软件	-	V1.0	2019SR0328375	10100-0000	-	2019-04-12
4	Y-8055DC冷水机系统控制软件	-	V1.0	2019SR0323825	10100-0000	-	2019-04-11
5	Kylin PW1000系统控制软件	-	V1.0	2019SR0323761	10100-0000	-	2019-04-11

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