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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	电连接端子和电连接装置	发明专利	CN201910576237.7	CN112152021A	2020-12-29
2	一种蒸发源的匹配方法及其装置、镀膜设备	发明专利	CN201910562480.3	CN112144015A	2020-12-29
3	一种传动带张紧轮的支撑件、传动带张紧机构和传输装置	发明专利	CN201910322159.8	CN111828575A	2020-10-27
4	上电极结构及等离子体增强化学气相沉积装置	发明专利	CN201510225072.0	CN104789947B	2018-07-06
5	翻转装置、其操作方法及包括其的共蒸发设备	发明专利	CN201510203240.6	CN104911560B	2018-05-18
6	数据传送方法和装置	发明专利	CN201510093626.6	CN104753639B	2018-03-13
7	电传输馈入结构及具有其的PECVD设备	发明专利	CN201510451915.9	CN105039936B	2017-10-27
8	化学气相沉积装置	发明专利	CN201510209528.4	CN104789944B	2017-06-20
9	平行度调节装置及CVD生长膜装置	发明专利	CN201510202608.7	CN104900473B	2017-04-05
10	一种LPCVD镀膜工艺后期基板冷却系统	发明专利	CN201610811578.4	CN106191818A	2016-12-07

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