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专利信息60

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	半导体工艺设备及其分离装置	发明专利	CN202210111649.5	CN114446835A	2022-05-06
2	晶圆夹持装置及晶圆转移系统	发明专利	CN202111477595.6	CN114188268A	2022-03-15
3	基板归正装置及半导体加工设备	发明专利	CN202010743524.5	CN111863664B	2022-02-25
4	一种卡夹校正装置和卡夹校正设备	发明专利	CN202010175611.5	CN111361967B	2022-02-25
5	传输机构	发明专利	CN202111143262.X	CN113859969A	2021-12-31
6	掩膜板的清洗设备	发明专利	CN202110718439.8	CN113426752A	2021-09-24
7	液晶面板卡夹的传送组件、液晶面板制造设备	发明专利	CN202110637597.0	CN113320880A	2021-08-31
8	翻转装置和真空镀膜设备	发明专利	CN201911181284.8	CN110760811B	2021-08-06
9	半导体工艺设备	发明专利	CN202011196032.5	CN112391597A	2021-02-23
10	一种储片盒传输装置	发明专利	CN202011311690.4	CN112382597A	2021-02-19

共 6 页

软件著作权6

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	UV_CURE(紫外线固化)控制软件	-	V1.0	2021SR0959030	-	-	2021-06-28
2	Feeder(智能上料系统)控制软件	-	V1.0	2021SR0714060	-	-	2021-05-19
3	翻转机控制系统	-	V1.0	2020SR0722753	-	-	2020-07-03
4	热回收单元控制系统	-	V1.0	2020SR0338294	30208-3600	-	2020-04-16
5	Indexer(装载卸载设备)控制软件	-	V1.0	2019SR1266818	30208-3600	-	2019-12-03
6	高效自动化镀膜控制系统	-	V1.0	2019SR1266809	30208-3600	-	2019-12-03

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