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专利信息9

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种升降轴及晶圆载台	发明专利	CN202210318970.0	CN114695245A	2022-07-01
2	一种载台系统及采用该载台系统的晶圆驱动方法	发明专利	CN202210318969.8	CN114695227A	2022-07-01
3	一种制动机构及采用该制动机构的调角载台	发明专利	CN202210318975.3	CN114688183A	2022-07-01
4	一种回正叉机构及晶圆载台	发明专利	CN202210318982.3	CN114683227A	2022-07-01
5	一种盘刹机构及晶圆载台	发明专利	CN202210317570.8	CN114683226A	2022-07-01
6	一种晶圆载台	发明专利	CN202210317587.3	CN114683223A	2022-07-01
7	一种柔性运动台及载台系统	发明专利	CN202210318967.9	CN114619411A	2022-06-14
8	一种晶圆侧边影像检测装置	发明专利	CN202210167185.X	CN114460009A	2022-05-10
9	一种集成式电子设备支架及设备机箱	发明专利	CN202210208090.8	CN114413153A	2022-04-29

软件著作权2

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	晶圆缺陷检测设备配置管理系统	-	V1.0	2022SR0430469	-	2022-02-15	2022-04-02
2	晶圆缺陷检测设备调度与调试系统	-	V1.0	2022SR0430421	-	2022-02-15	2022-04-02

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