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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	石英坩埚腐蚀桶及腐蚀结构	实用新型	CN202120384787.1	CN215480535U	2022-01-11
2	半导体加工用卡具	实用新型	CN202120417308.1	CN215470602U	2022-01-11
3	去除晶体表面氧化物的装置	实用新型	CN202120418414.1	CN215394461U	2022-01-04
4	半导体元件倒角用真空吸笔	实用新型	CN202120407287.5	CN214753688U	2021-11-16
5	磷化镓位错腐蚀用容器组件及磷化镓位错水浴腐蚀装置	实用新型	CN202120398779.2	CN214736218U	2021-11-16
6	一种石墨舟及区熔提纯用设备	实用新型	CN202022364068.1	CN214361826U	2021-10-08
7	一种水平砷化镓单晶切片用粘结台及粘结装置	实用新型	CN202022246620.7	CN214353404U	2021-10-08
8	双面倒角砂轮及锗片倒角加工用装置	实用新型	CN202022931144.2	CN214351798U	2021-10-08
9	石英管清洗装置	实用新型	CN202022218052.X	CN214348382U	2021-10-08
10	用于在锗晶体生长过程中粘出脏料的方法	发明专利	CN202010495166.0	CN111809237B	2021-10-08

共 13 页

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