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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	晶圆清洗装置	发明专利	CN202011153388.0	CN112371591B	2022-03-04
2	一种抛光液供给装置和化学机械抛光设备	发明专利	CN202111264391.4	CN113953968A	2022-01-21
3	一种化学机械抛光头和抛光系统	发明专利	CN202111209062.X	CN113878488A	2022-01-04
4	具有差动螺纹结构的磨削设备	发明专利	CN202010748282.9	CN111823084B	2021-11-26
5	具有可调节的吸盘转台的磨削设备	发明专利	CN202010748283.3	CN111730430B	2021-10-15
6	一种抛光液输送装置和化学机械抛光设备	发明专利	CN202110499303.2	CN113442068A	2021-09-28
7	一种化学机械抛光装置	实用新型	CN202022875338.5	CN213917712U	2021-08-10
8	晶圆清洗装置	实用新型	CN202022398492.8	CN213915030U	2021-08-10
9	一种清洗刷对中装置和晶圆清洗装置	实用新型	CN202023002429.4	CN213716852U	2021-07-16
10	晶圆清洗装置	实用新型	CN202022398431.1	CN213468778U	2021-06-18

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