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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	磷化钽靶材的生产工艺	发明专利	CN202110980546.8	CN113754437A	2021-12-07
2	一种二硫化硅的双温区气固合成工艺	发明专利	CN202110872400.1	CN113461014A	2021-10-01
3	氮化铝掺氮化钪镀膜材料	发明专利	CN202010882957.9	CN111962021A	2020-11-20
4	氮化铝掺氮化钪靶材的生产工艺	发明专利	CN201910970535.4	CN110590375A	2019-12-20
5	氮化铝钪材料	发明专利	CN201910970541.X	CN110562936A	2019-12-13
6	硫系玻璃或相变储存材料锗砷硒碲靶材的生产工艺	发明专利	CN201611222968.4	CN106637105B	2019-05-24
7	碲化锌掺碲化亚铜靶材的生产工艺	发明专利	CN201910055135.0	CN109704766A	2019-05-03
8	钼铌合金靶材的生产工艺	发明专利	CN201310010396.3	CN103060762B	2018-02-23
9	硫系玻璃或相变储存材料锗砷硒碲靶材的生产工艺	发明专利	CN201611222968.4	CN106637105A	2017-05-10
10	硒镓铟铜薄膜太阳能电池材料的两步合成法	发明专利	CN201110146763.3	CN102328917B	2016-03-23

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