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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种液相生长碳化硅的籽晶轴及方法	发明专利	CN201610505971.0	CN106012021B	2019-04-12
2	一种高纯半绝缘碳化硅衬底的制备方法	发明专利	CN201710019521.5	CN106757357B	2019-04-09
3	一种获得液体硅的方法及实现该方法的坩埚	发明专利	CN201610835100.5	CN106521629B	2018-12-28
4	一种高纯碳化硅粉料的制备方法	发明专利	CN201710019523.4	CN106698436B	2018-10-19
5	一种液相生长碳化硅籽晶轴装置	发明专利	CN201610462617.4	CN105970294B	2018-10-19
6	一种自密封碳化硅晶体生长用坩埚装置	实用新型	CN201721155444.8	CN207862478U	2018-09-14
7	一种生长高品质碳化硅晶须的方法	发明专利	CN201610482192.3	CN106048728B	2018-06-26
8	一种碳化硅溶液法中实时监测并调整固液界面高度的方法	发明专利	CN201610482560.4	CN106048713B	2018-06-26
9	一种低传热速度的石墨籽晶轴装置	实用新型	CN201721036031.8	CN207294945U	2018-05-01
10	一种碳化硅宝石的制作工艺	发明专利	CN201510909887.0	CN105463572B	2018-01-09

共 12 页

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