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商标信息2

序号	商标名称	国际分类	注册号	状态	申请日期	操作
1	启微半导体 KEYTRON WET SOLUTIONS	37类-建筑修理	41441996	商标已注册	2019-09-30	查看
2	启微半导体 KEYTRON WET SOLUTIONS	07类-机械设备	41425908	商标已注册	2019-09-30	查看

专利信息29

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种高洁净晶圆湿法清洗装置	发明专利	CN202011635599.8	CN112845300A	2021-05-28
2	一种晶圆复合清洗设备	发明专利	CN202011631979.4	CN112845297A	2021-05-28
3	可改善单片清洗固体结晶物堆积的装置及湿法清洗设备	发明专利	CN202011631610.3	CN112845296A	2021-05-28
4	一种有效防止晶圆交叉污染的气流控制模组	发明专利	CN202011632744.7	CN112786493A	2021-05-11
5	一种晶圆盒中转输送装置及中转输送方法	发明专利	CN202011636183.8	CN112736003A	2021-04-30
6	一种适用于供酸系统的高洁净湿法设备	发明专利	CN202011637072.9	CN112735989A	2021-04-30
7	一种用于晶圆清洗设备的复合腔体超短行程交错控制方法	发明专利	CN202011636689.9	CN112735988A	2021-04-30
8	一种晶圆复合清洗方法	发明专利	CN202011635619.1	CN112735986A	2021-04-30
9	一种湿法处理设备气密性安装结构	实用新型	CN202020033584.3	CN212553856U	2021-02-19
10	一种减少移动应力的机械手臂与湿法处理设备安装结构	实用新型	CN202020033151.8	CN212445206U	2021-02-02

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