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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	正多边形盘状MEMS谐振陀螺	发明专利	CN201810675224.0	CN108613669B	2022-02-22
2	正多边形盘状MEMS谐振陀螺	发明专利	CN201810675224.0	CN108613669A	2018-10-02
3	一种新型微型惯性测量单元组合	发明专利	CN201410536806.2	CN104296746B	2017-12-01
4	半球谐振式微机械陀螺仪及其加工工艺	发明专利	CN201210231285.0	CN103528576B	2017-01-25
5	一种基于硅硅键合的减少封装应力的微机械陀螺仪	发明专利	CN201410816214.6	CN104535055A	2015-04-22
6	一种新型微型惯性测量单元组合	实用新型	CN201420589114.X	CN204115740U	2015-01-21
7	一种新型微型惯性测量单元组合	发明专利	CN201410536806.2	CN104296746A	2015-01-21
8	基于硅通孔技术的硅晶圆直接键合的微机械陀螺仪	发明专利	CN201210094531.2	CN102607543B	2014-12-24
9	基于智能剥离硅隔离芯片的耐高温抗腐蚀压力传感器	发明专利	CN201210031035.2	CN102539055B	2014-04-09
10	半球谐振式微机械陀螺仪及其加工工艺	发明专利	CN201210231285.0	CN103528576A	2014-01-22

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