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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	振膜和包括该振膜的麦克风	发明专利	CN201010153540.5	CN101959103B	2016-06-08
2	硅基麦克风	发明专利	CN201010173213.6	CN101835080B	2014-04-30
3	微型麦克风	发明专利	CN201010167980.6	CN101959108B	2013-12-25
4	麦克风的制造方法	发明专利	CN201010153512.3	CN101959117B	2013-08-07
5	硅电容麦克风及制造硅电容麦克风的方法	发明专利	CN201010144913.2	CN101808263B	2013-04-24
6	振膜和应用该振膜的硅基麦克风	发明专利	CN201010163693.8	CN101883305B	2013-03-06
7	电容MEMS麦克风振膜	发明专利	CN201010167950.5	CN101883307B	2012-12-12
8	振膜及包括该振膜的电容麦克风	发明专利	CN201010163721.6	CN101883306B	2012-12-12
9	MEMS加速度传感器	发明专利	CN201010198622.1	CN101871952B	2012-07-11
10	加速度传感器	发明专利	CN201010198641.4	CN101865934B	2012-01-18

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