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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	用于蚀刻由铜层及钼层构成的金属层的蚀刻液及其应用	发明专利	CN201910582995.X	CN110219003B	2021-08-24
2	一种用于制备间隙粒子材料的感光组合物	发明专利	CN202110569677.7	CN113238458A	2021-08-10
3	一种蚀刻液中过氧化氢含量的检测方法	发明专利	CN202110569601.4	CN113237841A	2021-08-10
4	一种叠层金属和金属氧化物蚀刻液组合物及其使用方法	发明专利	CN202110239107.1	CN113046747A	2021-06-29
5	一种钛合金蚀刻液组合物及其使用方法	发明专利	CN202110160013.5	CN112981404A	2021-06-18
6	一种环保低成本含钛金属蚀刻液组合物及其使用方法	发明专利	CN202110124106.2	CN112921321A	2021-06-08
7	一种铜蚀刻液组合物及其制备方法和应用	发明专利	CN202011552376.5	CN112795923A	2021-05-14
8	一种含铜叠层蚀刻液、蚀刻方法及其应用	发明专利	CN202011260229.0	CN112342548A	2021-02-09
9	一种用于铜/钼（铌）/IGZO膜层的刻蚀液及其制备方法和应用	发明专利	CN202010652548.X	CN111809182A	2020-10-23
10	一种用于铜/钼（铌）/IGZO膜层的蚀刻液、蚀刻补充液及其制备方法和应用	发明专利	CN202010659770.2	CN111808612A	2020-10-23

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