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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种ALD加工设备	实用新型	CN202022904146.2	CN214937792U	2021-11-30
2	基体装载装置	实用新型	CN202120163715.4	CN214694361U	2021-11-12
3	一种ALD基体转运装置	实用新型	CN202022904041.7	CN214694359U	2021-11-12
4	一种ALD加热组件	实用新型	CN202022900008.7	CN214694358U	2021-11-12
5	镀膜方法、晶圆膜层及薄膜设备	发明专利	CN202110869350.1	CN113584463A	2021-11-02
6	一种ALD反应腔室	实用新型	CN202022899057.3	CN214458309U	2021-10-22
7	一种ALD反应器	实用新型	CN202022898949.1	CN214458308U	2021-10-22
8	一种ALD尾气热解组件以及抽气装置	实用新型	CN202120162212.5	CN214437719U	2021-10-22
9	一种ALD加工设备	实用新型	CN202120163712.0	CN214400713U	2021-10-15
10	一种ALD加工设备	实用新型	CN202120163328.0	CN214400712U	2021-10-15

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