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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	太鼓环减薄方法	发明专利	CN202210302216.8	CN114695106A	2022-07-01
2	半导体蒸发镀膜设备蒸发源预熔化挡板结构	实用新型	CN202122745518.6	CN216514082U	2022-05-13
3	碳化硅二极管结构	实用新型	CN202121444412.6	CN215731735U	2022-02-01
4	减薄机研磨轮及减薄机	实用新型	CN202121350172.3	CN215700776U	2022-02-01
5	一种肖特基二极管结构	实用新型	CN202121196959.9	CN215069996U	2021-12-07
6	碳化硅二极管及制造方法	发明专利	CN202110802475.2	CN113594263A	2021-11-02
7	碳化硅二极管结构及制作方法	发明专利	CN202110722082.0	CN113540258A	2021-10-22
8	多功能酸洗台装置	实用新型	CN202120367211.4	CN214313143U	2021-09-28
9	一种肖特基二极管结构及其制备方法	发明专利	CN202110602533.7	CN113193054A	2021-07-30
10	一种等离子体退火设备	实用新型	CN202022876090.4	CN213483721U	2021-06-18

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