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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种晶圆解键合辅助载盘、解键合机及解键合方法	发明专利	CN202010066736.4	CN111244015A	2020-06-05
2	一种砷化镓器件金属保护环	发明专利	CN202010110737.4	CN111162058A	2020-05-15
3	一种适用于低导热导电材料基板的器件制成方法	发明专利	CN201811592435.4	CN109782383B	2019-05-21
4	一种适用于低导热导电材料基板的器件制成方法	发明专利	CN201811592435.4	CN109782383A	2019-05-21
5	一种基于PHEMT工艺的MMIC等效管芯模型	发明专利	CN201610135225.7	CN105740580B	2019-02-22
6	一种铟镓磷异质结双极型晶体管及其制造方法	发明专利	CN201610253781.4	CN105870166B	2019-02-12
7	一种砷化镓半导体基片湿法刻蚀工艺	发明专利	CN201610174316.1	CN105762062B	2018-09-28
8	小能带隙III-V族MOSFET器件的非对称型源漏极结构	发明专利	CN201610337865.6	CN105826392B	2018-08-31
9	一种基于砷化镓器件的MIM电容器及其制造工艺	发明专利	CN201610174315.7	CN105845669B	2018-06-12
10	一种化合物半导体层间介电导线及其制备方法	发明专利	CN201710345312.X	CN107424978A	2017-12-01

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