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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	薄膜表声波谐振器及其制造方法	发明专利	CN202011280224.4	CN114513180A	2022-05-17
2	体声波谐振器及其制造方法和滤波器、射频通信系统	发明专利	CN201910273067.5	CN111786652B	2022-05-10
3	半导体基板及其制造方法和半导体器件结构及其制造方法	发明专利	CN202011195900.8	CN114446994A	2022-05-06
4	半导体基板及其制造方法和半导体器件结构及其制造方法	发明专利	CN202011191913.8	CN114446936A	2022-05-06
5	晶体谐振器与控制电路的集成结构及其集成方法	发明专利	CN201811643179.7	CN111384918B	2022-04-26
6	一种射频半导体器件结构及其制造方法	发明专利	CN202010947697.9	CN114171501A	2022-03-11
7	体声波谐振器及其制造方法和滤波器、射频通信系统	发明专利	CN201910272278.7	CN111786649B	2022-03-04
8	表声波谐振器及其制造方法	发明专利	CN202010761041.8	CN114070256A	2022-02-18
9	移动机构及其形成方法、驱动方法、电子设备和成像装置	发明专利	CN202010705565.5	CN113965691A	2022-01-21
10	晶圆级封装方法以及封装结构	发明专利	CN202010673274.2	CN113937019A	2022-01-14

共 9 页

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