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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种薄膜生长系统以及基片托盘和载环组件	实用新型	CN202023270443.2	CN214313127U	2021-09-28
2	用于化学气相沉积装置的托盘和化学气相沉积装置	发明专利	CN201911405406.7	CN113122825A	2021-07-16
3	金属有机物化学气相沉积反应器	发明专利	CN201911411224.0	CN113122823A	2021-07-16
4	用于化学气相沉积装置的托盘和化学气相沉积装置	实用新型	CN201922459233.9	CN211570766U	2020-09-25
5	托盘及其金属有机化学气相沉积反应器	实用新型	CN202020138314.9	CN211445893U	2020-09-08
6	一种化学气相沉积装置及其清洁方法	发明专利	CN201510218357.1	CN106191809B	2018-12-25
7	晶圆托盘	发明专利	CN201410850544.7	CN105810625B	2018-10-16
8	化学气相沉积反应器或外延层生长反应器及其支撑装置	发明专利	CN201510488320.0	CN105088187B	2018-09-18
9	一种等离子处理装置运行方法	发明专利	CN201510747995.2	CN106683969B	2018-09-11
10	一种MOCVD反应器的处理方法	发明专利	CN201510083854.5	CN105986243B	2018-07-24

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