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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	黏贴装置	发明专利	CN202110400142.7	CN113023357B	2022-06-07
2	氧化铝抛光液及其制备方法	发明专利	CN202210324896.3	CN114456718A	2022-05-10
3	一种单晶生长装置	发明专利	CN202011615411.3	CN112831840B	2022-05-10
4	晶体生长装置和晶体生长方法	发明专利	CN202110952925.6	CN113652751B	2022-04-19
5	减薄砂轮及其组件、减薄碳化硅衬底及减薄方法与应用	发明专利	CN202011548722.2	CN112706085B	2022-03-18
6	碳化硅晶圆化学机械抛光装置	实用新型	CN202121736673.5	CN216030138U	2022-03-15
7	一种碳化硅晶体生长装置及碳化硅晶体生长设备	实用新型	CN202023163810.9	CN215668293U	2022-01-28
8	一种碳化硅粉料筛分装置	实用新型	CN202121770150.2	CN215656299U	2022-01-28
9	一种坩埚盖、坩埚及晶体生长装置	实用新型	CN202023340832.8	CN215163306U	2021-12-14
10	一种抛光载具	实用新型	CN202023276732.3	CN215148064U	2021-12-14

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