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商标信息2

序号	商标名称	国际分类	注册号	状态	申请日期	操作
1	LIETH	07类-机械设备	32630891	商标已注册	2018-08-01	查看
2	图双 LIETH	09类-科学仪器	32616057	商标已注册	2018-08-01	查看

专利信息52

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	光刻机载片台清扫装置	实用新型	CN202022430056.4	CN214108106U	2021-09-03
2	一种光刻机的温度变频调节系统	发明专利	CN202110450389.X	CN113311670A	2021-08-27
3	一种用于晶圆检测的移动载台机构	发明专利	CN202110451025.3	CN113192875A	2021-07-30
4	一种用于光刻机上的真空检测装置	发明专利	CN202110451054.X	CN113176715A	2021-07-27
5	一种光刻机运动台反力抵消装置	发明专利	CN202110450769.3	CN113176714A	2021-07-27
6	一种光刻机运动台系统	发明专利	CN202110450418.2	CN113176713A	2021-07-27
7	一种适于接触式光刻机的曝光装置	发明专利	CN202110449124.8	CN113176712A	2021-07-27
8	一种浸没式光刻机浸没流场维持装置	发明专利	CN202110449115.9	CN113176711A	2021-07-27
9	一种光刻机投影物镜温度均衡装置	发明专利	CN202110449100.2	CN113176710A	2021-07-27
10	光刻机硅片台移动装置	实用新型	CN202022433437.8	CN213780634U	2021-07-23

共 6 页

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