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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	图形化复合衬底及包含该衬底的LED外延结构及芯片	发明专利	CN202111633737.3	CN114122207A	2022-03-01
2	一种用于CMP抛光设备的供液装置	实用新型	CN202121336662.8	CN215281523U	2021-12-24
3	去除蓝宝石单抛衬底背面色差的清洗方法	发明专利	CN202110960902.X	CN113680721A	2021-11-23
4	一种衬底研磨装置及其研磨方法	发明专利	CN202110668617.0	CN113510611A	2021-10-19
5	一种控制研磨产品BOW值加工的方法	发明专利	CN201910967920.3	CN110722692B	2021-09-07
6	一种蓝宝石衬底清洗用快速旋干喷淋装置	实用新型	CN201921702424.7	CN210349791U	2020-04-17
7	一种控制研磨产品BOW值加工的方法	发明专利	CN201910967920.3	CN110722692A	2020-01-24
8	多线切割统一面型的加工方法	发明专利	CN201910946952.5	CN110722691A	2020-01-24
9	晶片碗型的制作方法	发明专利	CN201910946953.X	CN110718450A	2020-01-21
10	一种图形化复合衬底	实用新型	CN201822216504.3	CN209592073U	2019-11-05

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