商标信息0
专利信息13
序号 | 专利名称 | 专利类型 | 申请号 | 公开(公告)号 | 公布日期 |
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1 | 一种具有碳化硅涂层的硅片外延基座 | 实用新型 | CN202120942561.9 | CN214937796U | 2021-11-30 |
2 | 一种优化气体流场的石墨基座 | 实用新型 | CN202020258722.8 | CN211629063U | 2020-10-02 |
3 | 一种防止旋转不平衡的石墨基座 | 实用新型 | CN202020026043.8 | CN211570768U | 2020-09-25 |
4 | 一种气相沉积炉内气体悬浮装置 | 实用新型 | CN201922156987.7 | CN211079325U | 2020-07-24 |
5 | 一种气相沉积炉内气体悬浮装置 | 发明专利 | CN201911233422.2 | CN110760820A | 2020-02-07 |
6 | 一种CVD法碳化硅涂层的制备方法 | 发明专利 | CN201810213134.X | CN108359958B | 2020-01-07 |
7 | 一种化学气相沉积炉的基体支撑装置及基体旋转驱动装置 | 实用新型 | CN201820349599.3 | CN208201119U | 2018-12-07 |
8 | 一种利用热CVD法的碳化硅沉积处理设备 | 实用新型 | CN201820348953.0 | CN208167093U | 2018-11-30 |
9 | 一种干式真空泵的防卡死装置 | 实用新型 | CN201820351784.6 | CN207989314U | 2018-10-19 |
10 | 一种CVD法碳化硅涂层的制备方法 | 发明专利 | CN201810213134.X | CN108359958A | 2018-08-03 |
软件著作权3
序号 | 软件名称 | 软件简称 | 版本号 | 登记号 | 分类号 | 首次发表日期 | 登记批准日期 |
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1 | 工业生产流程电力统计系统 | - | V1.0 | 2019SR1455699 | - | 2019-11-13 | 2019-12-30 |
2 | 工业生产流程包装入库管控系统 | - | V1.0 | 2019SR1455025 | - | 2019-07-16 | 2019-12-30 |
3 | 工业生产流程上下料传输控制系统 | - | V1.0 | 2019SR1445511 | - | 2019-09-07 | 2019-12-27 |
作品著作权0
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