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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种掺杂砷化镓单晶晶体生长工艺	发明专利	CN202010784202.5	CN111893571B	2021-04-30
2	一种掺杂砷化镓单晶晶体生长工艺	发明专利	CN202010784202.5	CN111893571A	2020-11-06
3	大质量晶体生长的局部温度梯度的控制方法及装置	发明专利	CN202010724074.5	CN111826719A	2020-10-27
4	一种用于晶棒头尾切割的夹具	实用新型	CN201922127995.9	CN211279259U	2020-08-18
5	一种便于焊接石英管的真空泵支架	实用新型	CN201922128007.2	CN211232299U	2020-08-11
6	一种圆筒形晶体退火炉	实用新型	CN201922128006.8	CN211142240U	2020-07-31
7	一种用于单晶生长的升降装置	实用新型	CN201922127978.5	CN211057278U	2020-07-21
8	一种设置有炉体升降机构的晶体生长炉	实用新型	CN201921656033.6	CN210856408U	2020-06-26
9	一种大尺寸晶体生长单晶炉	实用新型	CN201921656061.8	CN210711819U	2020-06-09
10	一种基于VGF法的减少GaAs晶体孪晶的装置	实用新型	CN201921656034.0	CN210711818U	2020-06-09

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