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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种对称折叠弹性梁结构MEMS微镜及其制作方法	发明专利	CN202010843569.X	CN114077047A	2022-02-22
2	高占空比MEMS微镜、微镜阵列及制备方法	发明专利	CN202111004154.4	CN113820852A	2021-12-21
3	双轴垂直梳齿MEMS微镜、微镜阵列及制备方法	发明专利	CN202111003113.3	CN113820851A	2021-12-21
4	一种转轴结构及MEMS双轴转镜	发明专利	CN202010403516.6	CN113671690A	2021-11-19
5	一种具有大镜面的MEMS转镜结构	发明专利	CN202010402584.0	CN113671689A	2021-11-19
6	双面电极结构的MEMS微镜及其制备方法	发明专利	CN202110545663.1	CN113376826A	2021-09-10
7	一种基于自准直仪的多点位测试装置及测试方法	发明专利	CN202110538492.X	CN113218338A	2021-08-06
8	一种光学直角反射镜及其制造方法	发明专利	CN201610038072.4	CN106986299B	2021-03-09
9	大尺寸MEMS垂直梳齿微镜及其制备方法	发明专利	CN202010350516.4	CN111552072A	2020-08-18
10	静电驱动MEMS微镜阵列及其制备方法	发明专利	CN202010351741.X	CN111538154A	2020-08-14

软件著作权1

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	中科米微数据库软件	-	V1.0	2021SR0398556	-	-	2021-03-16

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