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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种具有滤波作用的压电声学换能器及其制作方法	发明专利	CN202110582544.3	CN113316072B	2022-06-17
2	一种易于集成的FBAR滤波器	发明专利	CN202110040803.X	CN112886940B	2022-06-17
3	伪模态抑制型射频谐振器结构	发明专利	CN202110012423.5	CN112821878B	2022-06-14
4	基于声子晶体的薄膜体声波谐振器	发明专利	CN201910557023.5	CN110417371B	2022-06-14
5	预埋牺牲层结构的谐振器及其制备方法	发明专利	CN202210097612.1	CN114465596A	2022-05-10
6	高发射性能的MEMS超声换能器	发明专利	CN202110034536.5	CN112871614B	2022-03-15
7	射频压力传感器	发明专利	CN202011633610.7	CN112816109B	2022-03-15
8	内置释放孔结构的谐振器	发明专利	CN202111031470.0	CN113872561A	2021-12-31
9	有效机电耦合系数可调的超高频谐振器	发明专利	CN202110947614.0	CN113726307A	2021-11-30
10	一种具有滤波作用的压电声学换能器及其制作方法	发明专利	CN202110582544.3	CN113316072A	2021-08-27

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