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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种用于碳化硅晶片的检测装置	实用新型	CN202220525374.5	CN216978810U	2022-07-15
2	一种碳化硅晶锭生长装置及方法	发明专利	CN202210519335.9	CN114737249A	2022-07-12
3	一种碳化硅晶片减薄装置及方法	发明专利	CN202210519304.3	CN114714234A	2022-07-08
4	一种用于碳化硅晶片退火的装置	实用新型	CN202123066641.1	CN216902811U	2022-07-05
5	一种用于碳化硅晶体生长用的风冷箱结构	实用新型	CN202220525283.1	CN216891320U	2022-07-05
6	一种用于碳化硅晶体的混合搅拌装置	实用新型	CN202220524897.8	CN216879124U	2022-07-05
7	一种碳化硅片生产用贴膜设备	实用新型	CN202123066320.1	CN216658907U	2022-06-03
8	一种碳化硅晶片用陶瓷盘的平面度修复装置	实用新型	CN202123111341.0	CN216657519U	2022-06-03
9	一种碳化硅锭生产用自动成型设备	实用新型	CN202123032938.6	CN216634945U	2022-05-31
10	一种碳化硅产生用的籽晶片粘合装置	实用新型	CN202123033086.2	CN216634944U	2022-05-31

共 8 页

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