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商标信息 1
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商标信息1

序号	商标名称	国际分类	注册号	状态	申请日期	操作
1	AELSYSTEM	09类-科学仪器	29841902	商标已注册	2018-03-27	查看

专利信息38

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种晶圆清洗工艺任务排列方法及装置	发明专利	CN202110557733.5	CN113299587A	2021-08-24
2	晶圆容纳盒清洗设备及晶圆容纳盒清洗方法	发明专利	CN202110531540.2	CN113289995A	2021-08-24
3	一种半导体晶圆晶清洗装置	发明专利	CN202110333321.3	CN113257730A	2021-08-13
4	一种具有清洗功能的半导体晶圆盒	发明专利	CN202110332602.7	CN113257725A	2021-08-13
5	一种半导体晶圆晶清洗方法	发明专利	CN202110333290.1	CN113257658A	2021-08-13
6	一种晶圆篮清洗设备进料机构及进料方法	发明专利	CN202010501775.2	CN111634687B	2021-08-10
7	一种晶圆篮清洗设备进料机构及进料方法	发明专利	CN202010501775.2	CN111634687A	2021-08-10
8	一种分架式晶圆清洗设备用内部晶圆辅助翻滚机构	实用新型	CN202022189499.9	CN213670789U	2021-07-13
9	一种半导体晶圆清洗装置	发明专利	CN202110211700.5	CN113035744A	2021-06-25
10	一种逐步抬升晶圆的晶圆清洗方法	发明专利	CN202110210728.7	CN113035743A	2021-06-25

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